晶盛机电:较早启动了对碳化硅等第三代半导体材料设备的研发 目前已经实现销售

【晶盛机电:较早启动了对碳化硅等第三代半导体材料设备的研发 目前已经实现销售】晶盛机电在互动平台表示:公司较早启动了对碳化硅等第三代半导体材料设备的研发。目前自主研发的碳化硅单晶炉已经实现销售,外延设备已经取得客户技术验证通过。公司将继续加大研发力度,充分发挥在半导体装备和精密制造领域的技术优势,持续拓展碳化硅等第三代半导体材料装备。

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